MOCVD设备领域洁净室天车的应用与发展
MOCVD（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化学气相沉积）是制造半导体、光电子器件、LED、太阳能电池等关键器件的重要技术。在MOCVD设备的生产和维护过程中，洁净室环境对其操作精度和设备性能至关重要。洁净室天车，作为一种专门设计用于洁净室环境下的起重设备，能够在不污染洁净环境的前提下，完成对MOCVD设备及其组件的高效搬运。
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